Application Note, vol. 16, Feb. 2018.
Advanced Instrumental Analysis Center, Shizuoka Institute of Science and Technology 1
キーワード
原子間力顕微鏡 AFM ﾀﾞｲ ﾐ ｸﾌｫ ｽﾓ ﾞ DFM 膜厚測定
装置
E-sweep （日立ハイテクサイエンス)分析事例 紹介
環境制御型走査プローブ顕微鏡
E-sweep
による
アルミニウム蒸着膜 膜厚測定
じめに
環境制御型走査 ロー 顕微鏡 E-seep 日立 イテ サイエン を用い ル ウ (Al)蒸着膜 膜厚測定を行った事例を紹介す
実験
トン 超音波洗浄したガラ 基板上 真空
蒸着装置(VPC410, ULVAC, 図 )を用い Alを成膜 した 図 真空蒸着 タン テンボート
抵抗加熱法を用い 行った
DFM探針SI-DF40 共振周波数316 kHz 定
数 37 N/m を用い ガラ 基板上 成膜した Al
ガラ 基板 境界 け 表面形状測定を行った
本装置 付随す 探針 共振 Q 値を一定 保ち 走査す 機能を用い こ イ 少 い安定
した画像を得 こ
結果
図 形状像 断面 ロ イル び3D形状 図を示す 断面 ロ イル ガラ 基板 ル
膜 高 差 65 nm あった また3D形状図
65 ~ 70 nm 均質 ル 膜 形成さ い
こ わ
図 真空蒸着装置
Application Note, vol. 16, Feb. 2018.
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図 形状像(左上) 断面 ロ イル(右上) び3D形状図 左上図中 白線 右 上図 断面 ロ イル切出 置を示す
まとめ
走査 ロー 顕微鏡を用い Al蒸着膜 膜厚測定 容易 観察 こ を示した 装置 断面 ロ イル解析 他 表面粗さ解析 粒径解析等 機能も備え
サイ 表面微小構造 観察 最適 あ
静岡理工科大学 先端機器分析センター
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